晶圓頂針、機(jī)械手等
晶圓頂針、晶圓自動(dòng)化搬運(yùn)機(jī)械手、晶圓校準(zhǔn)設(shè)備、濺射、設(shè)備調(diào)試、生產(chǎn)過程監(jiān)控、晶圓載盒、FOUP、裝載鎖、工藝腔底座、晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置。
適用產(chǎn)品是：AMS 晶圓型多功能測(cè)試片、ATS晶圓型中心校準(zhǔn)片、AVS 晶圓型振動(dòng)量測(cè)片、ALS 晶圓型水平校準(zhǔn)片、AVLS 晶圓型振動(dòng)水平測(cè)量校準(zhǔn)片
