ATS 無線晶圓校準測量系統(tǒng)將機器視覺及傳感器模塊集成到晶圓上，實現(xiàn)捕獲偏移數(shù)據(jù)（x 軸、y 軸），以快速校準晶圓傳輸位置，在半導體制程中提供精確的晶圓定位。

【應(yīng)用范圍】

晶圓頂針、晶圓自動化搬運機械手、晶圓校準設(shè)備

【產(chǎn)品優(yōu)勢】

1.實時提供測量參數(shù)：能夠?qū)崟r提供測量參數(shù)，使得操作人員可以快速調(diào)整和優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低耗材費用。

2. 實現(xiàn)精確校準：能夠提供精確的晶圓傳送坐標，確保晶圓在生產(chǎn)過程中的正確定位至關(guān)重要，助于提高整個制造過程的效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

3. 無線作業(yè)方式：ATS 系統(tǒng)的無線操作減少了物理連接的情況，使得晶圓的傳輸和處理更加靈活和高效。

4. 支持過程調(diào)整與驗證：通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

5. 輕巧的設(shè)計：ATS系統(tǒng)的輕巧設(shè)計使其能夠適應(yīng)更多的設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境，尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。

6. 低功耗性能：低功耗的特性實現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時間運行。

【參數(shù)配置】