AMS 無(wú)線晶圓校準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測(cè)量加速度、振動(dòng)、水平、調(diào)平角度、濕度、溫度等參數(shù)， 幫助提高半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備的調(diào)試效率，AMS 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用有助于提升設(shè)備的調(diào)試效率和生產(chǎn)過(guò)程的控制精度。

【應(yīng)用范圍】

晶圓傳輸檢測(cè)、天車傳輸監(jiān)測(cè)、AMHS 晶圓搬運(yùn)監(jiān)測(cè)

【產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)】

1. 參數(shù)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控：AMS 可專業(yè)測(cè)量晶圓在制程中的加速度、振動(dòng)、水平角度、濕度溫度等關(guān)鍵參數(shù)。

2. 無(wú)線測(cè)溫采集：傳感器無(wú)需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù)，滿足晶圓在復(fù)雜性狀況下通過(guò)無(wú)線通信方式進(jìn)行參數(shù)測(cè)量。

3. 高精度與靈敏度：傳感器具有高精度和靈敏度，能夠滿足嚴(yán)格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。

4. 輕巧的設(shè)計(jì)：AMS系統(tǒng)的輕巧設(shè)計(jì)使其能夠適應(yīng)更多的設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境，尤其對(duì)于空間受限的場(chǎng)合提供更大的靈活性和便捷性。

5. 低功耗性能：低功耗的特性實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。

6. 支持過(guò)程調(diào)整與驗(yàn)證：通過(guò)分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

【參數(shù)配置】