AMS 無線晶圓校準測量系統(tǒng)通過專業(yè)技術將多個傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測量加速度、振動、水平、調(diào)平角度、濕度、溫度等參數(shù)， 幫助提高半導體機臺設備的調(diào)試效率，AMS 在半導體制造領域的應用有助于提升設備的調(diào)試效率和生產(chǎn)過程的控制精度。

【應用范圍】

晶圓傳輸檢測、天車傳輸監(jiān)測、AMHS 晶圓搬運監(jiān)測

【產(chǎn)品優(yōu)勢】

1. 參數(shù)實時數(shù)據(jù)監(jiān)控：AMS 可專業(yè)測量晶圓在制程中的加速度、振動、水平角度、濕度溫度等關鍵參數(shù)。

2. 無線測溫采集：傳感器無需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù)，滿足晶圓在復雜性狀況下通過無線通信方式進行參數(shù)測量。

3. 高精度與靈敏度：傳感器具有高精度和靈敏度，能夠滿足嚴格的工業(yè)標準和要求。

4. 輕巧的設計：AMS系統(tǒng)的輕巧設計使其能夠適應更多的設備和應用環(huán)境，尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。

5. 低功耗性能：低功耗的特性實現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時間運行。

6. 支持過程調(diào)整與驗證：通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

【參數(shù)配置】