涂膠顯影/探針臺測溫
涂膠顯影設(shè)備是半導(dǎo)體制造光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體光刻工藝中的光刻膠涂布和顯影過程。根據(jù)不同的應(yīng)用需求，涂膠顯影設(shè)備可以劃分為前道涂膠顯影設(shè)備和后道涂膠顯影設(shè)備，前道用于晶圓制造前道工藝，后道用于封裝環(huán)節(jié)中的相關(guān)工序。
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試, 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
適用產(chǎn)品：TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)、On Wafer WHS無線晶圓測溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)
