瑞樂半導體

AMS 晶圓型多功能測試片

AMS 無線晶圓校準測量系統(tǒng)通過專業(yè)技術將多個傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測量加速度、振動、水平、調平角度、濕度、溫度等參數(shù)， 幫助提高半導體機臺設備的調試效率，AMS 在半導體制造領域的應用有助于提升設備的調試效率和生產(chǎn)過程的控制精度。

一、產(chǎn)品應用范圍

晶圓傳輸檢測、天車傳輸監(jiān)測、AMHS晶圓搬運監(jiān)測、溫濕度檢測

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

01.參數(shù)實時數(shù)據(jù)監(jiān)控

AMS 可專業(yè)測量晶圓在制程中的加速度、振動、水平角度、濕度溫度等關鍵參數(shù)。

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02.無線測溫采集

傳感器無需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù)，滿足晶圓在復雜性狀況下通過無線通信方式進行參數(shù)測量。

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03.高精度與靈敏度

傳感器具有高精度和靈敏度，能夠滿足嚴格的工業(yè)標準和要求。

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04.輕巧的設計

AMS系統(tǒng)的輕巧設計使其能夠適應更多的設備和應用環(huán)境，尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。

05.低功耗性能

低功耗的特性實現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時間運行。

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06.支持過程調整與驗證

通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)調整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

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三、產(chǎn)品參數(shù)配置

四、關于瑞樂半導體

廣東瑞樂半導體科技有限公司（Guangdong Ruile Semi-Tech CO., Ltd.）成立于2016年，是一家專精于半導體溫度測量和功能測量產(chǎn)品，集研發(fā)、設計、制造、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務為一體的高科技公司，同時是具備優(yōu)秀的自主創(chuàng)新能力的高價值公司。公司積累了半導體行業(yè)溫度測量領域多年經(jīng)驗，融入當今先進的工業(yè)計算機技術，在專業(yè)技術上不斷迭代創(chuàng)新，短短幾年內，垂直發(fā)展成為半導體行業(yè)測溫設備的專業(yè)供應商，成為在該領域具有較強影響力的公司。

公司主要產(chǎn)品有TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)（有線/無線）、On Wafer無線晶圓測溫系統(tǒng)、定制型 Wafer晶圓測溫系統(tǒng)，承壓測溫 Bonding TC Wafer、AMS 晶圓型多功能測試片、ATS晶圓型中心校準片、AGS晶圓型間隙量測片、VMS晶圓型厚度量測片、ALS 晶圓型水平校準片、AVS 晶圓型振動量測片、AVLS 晶圓型振動水平測量校準片、有線/無線真空壓力測量片AVPS、無線測溫晶圓存儲充電數(shù)據(jù)傳輸FOUP等，為半導體企業(yè)提供高精度的晶圓測溫解決方案和晶圓校準測量解決方案。