ATS無(wú)線晶圓校準(zhǔn)與測(cè)量系統(tǒng)巧妙地融合了機(jī)器視覺(jué)與傳感器模塊，將其集成于晶圓之上，從而能夠精準(zhǔn)捕捉晶圓的偏移數(shù)據(jù)（包括x軸和y軸）。這一創(chuàng)新功能使得晶圓傳輸位置的快速校準(zhǔn)成為可能，為半導(dǎo)體制程提供了無(wú)與倫比的晶圓定位精度。

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

1. 實(shí)時(shí)測(cè)量反饋：系統(tǒng)能夠即時(shí)提供測(cè)量參數(shù)，助力操作人員迅速調(diào)整并優(yōu)化生產(chǎn)流程，進(jìn)而有效降低耗材成本。
2. 精準(zhǔn)校準(zhǔn)保障：通過(guò)提供準(zhǔn)確的晶圓傳輸坐標(biāo)，確保晶圓在生產(chǎn)流程中的精確定位，對(duì)于提升整體制造效率和產(chǎn)品質(zhì)量起到了至關(guān)重要的作用。
3. 無(wú)線操作便捷性：ATS系統(tǒng)采用無(wú)線操作模式，減少了物理連接的限制，使得晶圓傳輸和處理更為靈活高效。
4. 工藝調(diào)整與驗(yàn)證支持：系統(tǒng)能夠分析在特定工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)，以便調(diào)整工藝步驟，確保達(dá)到最佳性能。
5. 輕巧設(shè)計(jì)適應(yīng)性：ATS系統(tǒng)設(shè)計(jì)輕巧，適用于多種設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境，尤其在空間有限的場(chǎng)所展現(xiàn)出極高的靈活性和便利性。
6. 低功耗長(zhǎng)久運(yùn)行：憑借低功耗特性，系統(tǒng)能在保持高性能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。